徠卡金相顯微鏡DM12000M利用光學(xué)原理，將被測樣本放置在顯微鏡中的觀(guān)察平臺上，通過(guò)反射或透射光線(xiàn)，將樣本的圖像放大到顯微鏡的目鏡中。在樣本對光線(xiàn)散射和吸收的特性下，成像時(shí)樣本的圖像現象隨著(zhù)參數的變化而不斷變化。觀(guān)測者根據這種變化可以判斷樣本的顯微結構和組織。
DM12000M徠卡金相顯微鏡特點(diǎn)：
一、全新的光學(xué)設計，可以提供宏觀(guān)模式快速初檢以及傾斜紫外光路功能(OUV，傾斜紫外觀(guān)察模式) ，不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。新的LED照明技 一體化設計并整合在顯微鏡上，低熱輻射和機身內一體化技術(shù)確保了理想的機身外空氣流動(dòng)狀態(tài)。
二、DM12000M徠卡金相顯微鏡在縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件透射光檢查照明的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀(guān)察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀(guān)察。實(shí)現快速和精確的自動(dòng)對焦，甚至觀(guān)察方式轉換時(shí)也能實(shí)時(shí)準確的找到焦面。
三、兩種照明裝置可選，通用型及高數值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現投射光簡(jiǎn)易偏光觀(guān)察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀(guān)察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達0.12μm。
四、備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內部檢查近紅外線(xiàn)觀(guān)察附件標配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，并且可以實(shí)現使工藝線(xiàn)上的幾臺顯微鏡都在同樣的設定狀態(tài)下工作。
五、包括專(zhuān)門(mén)的紅外物鏡等附件，對從可見(jiàn)光到近紅外波段光線(xiàn)的像差做矯正，用于IC深層或內部檢查，可實(shí)現對WAFER BUMP的全面檢查自動(dòng)線(xiàn)寬CD測量附件以亞像素技術(shù)實(shí)現高度精確的CD測量。
六、低能耗的節電設計大大延長(cháng)了使用壽命，符合綠色環(huán)保的理念。一鍵式的操控設計使用戶(hù)可以輕易地完成倍率轉換和相關(guān)的照明和相襯效果。
產(chǎn)品型號：DM12000M
